| Дополнительные функции | Высоковакуумные (HV) встраиваемые щелевые затворы MONOVAT для полупроводникового производства |
| Категория | Вакуумная арматура |
| Модель | 02.1/03.1 |
| Назначение | Промышленный |
| Страна | Швейцария |
| Производитель | VAT |
