| Базовый фланец | CF (6") |
| Векторное движение к жестким остановкам, мм | + -17,7 |
| Векторный ход к концевым выключателям, мм | + -17,7 |
| Диаметр трубы, мм | 39 |
| Дополнительные порты | 4 порта CF16 на фиксированном фланце |
| Изменение параллелизма фланца | <2 mrad |
| Категория | Вакуумный манипулятор |
| Линейное разрешение на 1/2 шага, мм | 0,00125 |
| Макс. нагрузка, перпендикулярная к оси (на конце вала) | 200 N |
| Максимальный диаметр зонда для полного хода, мм | 13 |
| Максимальный консольный момент | 10 Nm |
| Модель | TTX40-100 |
| Назначение | Промышленный |
| Наклон фланца | +/- 2 градуса |
| Подвижный фланец | CF40 (2 3/4") |
| Разрешение | 0,002 мм |
| Разрешение микрометра по оси X и Y | 0,001 мм |
| Серия | TETRAXE |
| Температура выпекания, °C | 250 |
| Ход до жесткого упора, мм | +-12,5 |
| Ход до концевых выключателей, мм | +-12,5 |
| Ход по Z, мм | 25-300 |
| Шаг винта по оси X и Y, мм | 0,5 |
| Шаг ходового винта, мм | 2 |
| Страна | Великобритания |
| Производитель | UHV Design |
