| Xmax, Ymax | +/-10 мм |
| Базовый фланец | CF64 114 мм (4.5”) OD |
| Диаметр трубы, мм | 51 |
| Категория | Вакуумный манипулятор |
| Макс. нагрузка, перпендикулярная к оси (на конце вала) | 200 N |
| Максимальный зонд OD, мм | 22 |
| Максимальный консольный момент | 20 Nm |
| Модель | XY14-64-38 |
| Назначение | Промышленный |
| Подвижный фланец | CF38 70 мм (2.75") OD |
| Разрешение | ручной - +/- 0,01 мм, с двигателем +/-0,005 мм |
| Серия | MultiBase XY |
| Ход по XY, мм | + -14 |
| Страна | Великобритания |
| Производитель | UHV Design |
