Вес, кг | 1,9 |
Время разгона ротора, мин | 1,5 |
Вход и выход | 63 ISO‐K (63 CF) / 16 ISO‐KF |
Категория | Вакуумный насос |
Коэффициент сжатия азота | 1,0x10^11 |
Коэффициент сжатия аргона | 1,0x10^11 |
Коэффициент сжатия водорода | 4,0x10^4 |
Коэффициент сжатия гелия | 2,0x10^6 |
Модель | SL 80 - 63 ISO‐K |
Назначение | Промышленный |
Предельное остаточное давление, мбар | 2x10^(-10) |
Производительность по Ar, мбар·л/с | 1,6 |
Производительность по H2, мбар·л/с | 0,5 |
Производительность по He, мбар·л/с | 1,2 |
Производительность по N2, мбар·л/с | 2 |
Серия | Mechanical Rotor Suspension |
Скорость откачки по азоту, л/с | 65 |
Скорость откачки по аргону, л/с | 60 |
Скорость откачки по водороду, л/с | 49 |
Скорость откачки по гелию, л/с | 55 |
Температурный режим, °С | от 15 до 45 |
Тип | Турбомолекулярный |
Частота вращения, об/мин | 72000 |
Страна | Германия |
Производитель | Leybold GmbH |